POSITION MEASURING DEVICE

摘要

Es wird eine Positionsmesseinrichtung zur Bestimmung der Position zweier in Messrichtung relativ zueinander beweglicher Teile angegeben, die desweiteren eine Möglichkeit zur Herstellung eines Absolutbezuges während der Messung aufweist. Die Positionsmesseinrichtung umfasst hierzu eine Lichtquelle, sowie ein Strahlteilerelement, das das von der Lichtquelle ausgesandte Strahlenbündel in mindestens ein erstes und ein zweites Teilstrahlenbündel aufteilt, die nach Austritt aus dem Strahlteilerelement vorzugsweise beide parallel zueinander orientiert sind. Desweiteren ist ein Referenzreflektor sowie ein Messreflektor vorgesehen, auf die die beiden Teilstrahlenbündel auftreffen. Am Messreflektor und am Referenzreflektor sind eine Referenzmarkierung sowie eine Abtasteinheit angeordnet, um an der Position des stationären Referenzreflektors ein Referenzimpulssignal zu erzeugen.