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发明名称
Integriert optischer Hybridbaustein mit zweischichtigem Substrat
摘要
申请公布号
DE69419086(T2)
申请公布日期
1999.10.14
申请号
DE19946019086T
申请日期
1994.07.19
申请人
FUJITSU LTD.
发明人
TABUCHI, HARUHIKO
分类号
H01L21/02;G02B6/36;G02B6/42;H01L27/15;H01L31/0232;H01L31/12;H01L33/44;H01L33/58;H01L33/60;H01L33/62;H01S5/00;H01S5/026;(IPC1-7):G02B6/12
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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