| 摘要 |
<p>Ein Plasmabrenner mit einem Mikrowellensender, der bspw. zur Beschichtung von Oberflächen und zur Erzeugung von Radikalen bestimmt ist, soll sich durch minimale Energieverluste bei der Übertragung der Mikrowelle zur entstehenden Plasmaflamme auszeichnen. Er weist einen Hohlleiter für die gesendeten Mikrowellen und einen Koaxialleiter auf, in dem sich eine mit einer Durchführung versehene Elektrode und eine am, dem Hohlleiter abgewandten Ende der Durchführung vorgesehene Düse im wesentlichen in axialer Anordnung befinden, wobei an der Düse die Plasmaflamme erzeugt wird. Zwischen dem Hohlleiter und dem Koaxialleiter ist ein Koppelstück angeordnet. Die Elektrode ist mit dem Koppelstück über eine Aufnahmescheibe und ein elektrisch isolierendes Zwischenstück gasdicht, thermisch isoliert und für Mikrowellen durchlässig verbunden.</p> |
