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发明名称 SUBSTRATE CLEANING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH09181030(A) 申请公布日期 1997.07.11
申请号 JP19950339304 申请日期 1995.12.26
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 OTANI MASAMI
分类号 B08B3/12;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
主权项
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