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发明名称 Deposition compounds
摘要
申请公布号 GB9919071(D0) 申请公布日期 1999.10.13
申请号 GB19990019071 申请日期 1999.08.12
申请人 ISIS INNOVATION LIMITED 发明人
分类号 C07C279/04;C07F5/00;C07F5/06;C23C16/18;C23C16/30;H01L21/205 主分类号 C07C279/04
代理机构 代理人
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