连续激光的时间调制和空间分束装置

摘要

一种连续激光的时间调制和空间分束装置,包含沿着激光器输出连续激光束前进方向上,依次置有前置聚焦镜,含有m(m≥5)个反射平面的正多面柱体的转镜,与前置聚焦镜在转镜的反射平面上共焦的后置聚焦镜,由n(n≥1)个无间隙排列的聚焦镜构成的分束聚焦镜。分束聚焦镜将经过调制的分束后光束聚焦在样品表面上。上述本发明的分束装置结构简单可靠地将一束连续的激光束变成了多束脉冲激光束,是激光加工设备上理想的分束装置。

主权项

1．一种连续激光的时间调制和空间分束装置，含有输出为连续激光束Gr的激光器(1)、聚焦镜(6)、(8)和分束聚焦镜(9)，其特征在于具体结构是：<1>沿激光器(1)输出连续激光束Gr前进的方向上，首先是前置聚焦镜(6)，前置聚焦镜(6)的焦点O焦在转镜(7)的反射平面上；<2>沿转镜(7)反射的反射光束Gf前进的方向上置有后置聚焦镜(8)，后置聚焦镜(8)的焦点也是焦在转镜(7)的反射平面上，并与前置聚焦镜(6)的焦点O重合；<3>沿后置聚焦镜(8)射出的平行光束Gb前进的方向上置有分束聚焦镜(9)；<4>分束聚焦镜(9)的焦点焦在样品(10)的表面上。