| 发明名称 |
Method of analyzing semiconductor device fabrication process |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2314968(A) |
申请公布日期 |
1998.01.14 |
| 申请号 |
GB19970000654 |
申请日期 |
1997.01.14 |
| 申请人 |
* SAMSUNG ELECTRONICS CO LIMITED |
发明人 |
KIM * DONG-WON |
| 分类号 |
G01N23/225;G01Q10/00;G01Q30/16;H01J37/244;H01J37/317;H01J49/26;H01L21/205;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01N23/225 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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