| 发明名称 |
ESTIMATING METHOD OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10163285(A) |
申请公布日期 |
1998.06.19 |
| 申请号 |
JP19960335052 |
申请日期 |
1996.11.29 |
| 申请人 |
SUMITOMO SITIX CORP |
发明人 |
YANASE YOSHIO;KITAMURA TAKAFUMI |
| 分类号 |
G01N1/32;G01N33/00;H01L21/306;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01N1/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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