发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH10163314(A) 申请公布日期 1998.06.19
申请号 JP19960319787 申请日期 1996.11.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD 发明人 SUZUMURA MASAHIKO;TAKANO HITOMICHI;KISHIDA TAKASHI;SHIRAI YOSHIFUMI;HAYAZAKI YOSHIKI;SUZUKI YUJI
分类号 H01L21/762;H01L21/76;H01L27/12;H01L31/10;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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