| 发明名称 |
AIR KNIFE AND TREATMENT APPARATUS EMPLOYING AIR KNIFE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11277011(A) |
申请公布日期 |
1999.10.12 |
| 申请号 |
JP19980085851 |
申请日期 |
1998.03.31 |
| 申请人 |
SHIBAURA MECHATRONICS CORP |
发明人 |
HIROSE HARUMICHI;KANEKO KATSUNORI |
| 分类号 |
B08B5/02;H01L21/304;(IPC1-7):B08B5/02 |
主分类号 |
B08B5/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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