,申请号JP19900092167-传众专利搜索

发明名称
摘要
申请公布号	JP2961800(B2)	申请公布日期	1999.10.12
申请号	JP19900092167	申请日期	1990.04.09
申请人	HITACHI DENSHI ENJINIARINGU KK	发明人	HIROKAWA HIDEO;SUGYAMA UMENORI;KAZAMA SEIJI
分类号	G01R31/26;G01R31/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26	主分类号	G01R31/26
代理机构		代理人
主权项
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