| 发明名称 |
FORMATION OF METALLIC COMPOUND THIN FILM AND FILM FORMING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11279758(A) |
申请公布日期 |
1999.10.12 |
| 申请号 |
JP19980101976 |
申请日期 |
1998.03.30 |
| 申请人 |
SHINCRON:KK |
发明人 |
KIKUCHI KAZUO;MATSUMOTO SHIGEJI |
| 分类号 |
H01L21/203;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
H01L21/203 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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