发明名称 GROWTH OF SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH11278993(A) 申请公布日期 1999.10.12
申请号 JP19980105638 申请日期 1998.03.31
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 FUJIWARA HIDEKI;NISHIMOTO MANABU;MORITA HIROSHI;MIYAMOTO ISAMU
分类号 H01L21/208;C30B29/06;(IPC1-7):C30B29/06 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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