| 主权项 |
1.一种光纤用石英玻璃母材前驱体之制造方法,玻 璃母材系指含有氟之石英玻璃部份者,其特征在于 该制造方法包含:在氢氧火炎中导入玻璃原料气体 和氟化合物气体,而利用火炎加水分解反应,使玻 璃微粒子在标靶轴方向堆积,当上述玻璃微粒子之 堆积体向前述标靶轴方向成长时,将前述氟化合物 气体之流量增加之第1步骤,及,将前述玻璃微粒子 之堆积体加热使其透明化之第2步骤。2.如申请专 利范围第1项之方法,其中前述第1步骤为将前述氟 化合物气体之流量渐渐增加达到初期流量之1.5倍- 2.5倍为止之步骤。3.如申请专利范围第1项之方法, 其中前述第1步骤为以V_为氟化合物气体之初期流 量、V_为氟化合物气体之最终流量、te为成长开始 至成长终了之经过时间、ts为成长开始至氟化合 物气体流量开始增加之经过时间、t指由成长开始 时刻之经过时间,而当1<n<2时,随着前述玻璃微粒子 之堆积体之往轴方向成长之同时,令前述氟化合物 气体之流量Vf 于0≦t<ts时, 依Vf=V_, 而于ts≦t≦te时则依下列式 Vf=(V_-V_)((t-ts)/te-ts))N+V_ 增加之步骤。4.如申请专利范围第1项之方法,其中 前述第1步骤为将前述氟化合物气体之流量,随前 述玻璃微粒子堆积体之往轴方向成长,而呈直线增 加之步骤。5.如申请专利范围第1项之方法,其中前 述第1步骤为令前述氟化合物气体之流量,于前述 玻璃微粒子之堆积体由堆积开始至设定时间为止 维持一定量供给,之后则呈直线增加之步骤。6.如 申请专利范围第1项之方法,其中前述第1步骤为以V _为氟化合物气体之初期流量、V_为氟化合物气体 之最终流量、te为由成长开始至成长终了之经过 时间、t指由成长开始时刻之经过时间时,随着前 述玻璃微粒子之堆积体之往轴方向成长之同时,令 前氟化合物气体之流量Vf依下列式 Vf=(V_-V_)(t/te)2+V_ 增加之步骤。7.如申请专利范围第1项之方法,其中 前述第1步骤为以V_为氟化合物气体之初期流量、V _为氟化合物气体之最终流量、te为由成长开始至 成长终了之经过时间、t指由成长开始时刻之经过 时间,ts为由成长开始至氟化合物气体流量开始增 加之经过时间时,随着前述玻璃微粒子堆积体之往 轴方向成长之同时,令前述氟化合物气体流量Vf 在0≦t<ts时 依Vf=V_ 而在ts≦t≦te时则依下列式 Vf=(V_-V_)((t-ts)/te-ts))2+V_ 增加之步骤。图式简单说明: 第一图系有关本发明之光纤用玻璃母体前驱体制 造方法其实施形态之工程说明图。 第二图系有关添加氟石英玻璃之氟化合物气体之 供给方式不同其折射率低下量位置之变化情形其 实验结果所显示之图形。 第三图系添加氟石英玻璃之氟化合物气体供给量 与时间同时增加时显示其对应长手方向之折射率 变动量之实验结果曲线图。 第四图系显示有关本实施形态中CF4之供给形式图 形。 第五图系显示依CF4之供给形式其比折射率差位置 变化之情形其实验结果之图形。 第六图系长尺多孔质玻璃烟灰之形成方法之说明 图。 第七图系本发明之光纤用玻璃母材前驱体制造方 法其实施形态之工程说明图。 第八图显示本实施例制造之光纤用玻璃母材前驱 体其折射率分布之图形。 第九图系本实施例制造之光纤用玻璃母材前驱体 显示其比折射率差之位置变化情形其实验结果之 图形。 第十图系本实施例制造之光纤用玻璃母材前驱体 显示其比折射率差之位置变化情形其实验结果图 形。 第十一图系比较例制造之光纤用玻璃母材前驱体 显示其比折射率差之位置变化情形之实验结果图 形。 |
