| 主权项 |
1.一种用来涂覆一光阻薄膜于一晶圆上的方法,该 方法包括的步骤为: 气化反射出一液态的光阻材料用以形成光阻粒子; 使该等光阻粒子电气地带电; 在该等光阻粒子将要通过的区域建立起一电场,藉 以将该等光阻粒子偏向;及 选择性地将该等光阻粒子通过一预设之区域,并将 该等被选取的光阻粒子淀积于该晶圆上。2.如申 请专利范围第1项所述之方法,其中该气化及射出 一液态的光阻材料的步骤是藉由一文氏管的使用 而被实施的。3.如申请专利范围第1项所述之方法, 其中该气化及射出一液态的光阻材料的步骤是藉 由一具有与被容纳于该液态光阻材料中之溶剂的 成分相同之气体流的使用而被达成的。4.如申请 专利范围第1项所述之方法,其中使该等光阻粒子 电气地带电的步骤是在一离子化的气体氛围( atmosphere)中被实施的。5.如申请专利范围第1项所 述之方法,其中使该等光阻粒子电气地带电的步骤 包括了植入离子原子于该等光阻粒子中。6.如申 请专利范围第1项所述之方法,其进一步包括了调 整一具有一预设的大小及位置的区域的步骤用以 只选取具有一预设的微粒大小之被偏向的光阻粒 子。7.如申请专利范围第1项所述之方法,其进一步 包括供应一电压至该晶圆的步骤用以增进该带电 的光阻粒子的淀积率。8.一种用来涂覆一光阻薄 膜于一晶圆上的装置,其包括了: 一文氏管,其是用来将容纳于一被置于该文氏管之 下的容器中之光阻材料抽泵上来并将该被抽泵上 来的光阻材料以气态射出; 一被连接至该文氏管之第一绝缘管,该第一绝缘管 是作为将于射出该液态的光阻材料时被形成的光 阻粒子散布出去之用; 至少一被连接至该一电压源之电极,该电极是作为 将从该第一绝缘管出来的光阻粒子的流向加以偏 向之用; 一被连接至该第一绝缘管上之一第二绝缘管,被该 电极所偏向之该等光阻粒子通过该第二绝缘管;及 一被连接至该第二绝缘管上之第三绝缘管,该电三 绝缘管只取得从该第二绝缘管跑出来之光阻粒子 的一部分。9.如申请专利范围第8项所述之装置,其 中该第二绝缘管在其一端具有一加大的部分。10. 如申请专利范围第8项所述之装置,其中该第三绝 缘管是被置于该该第二绝缘管的内部。11.如申请 专利范围第8项所述之装置,其进一步包括了一被 连接至该晶圆上且被设计来产生一与该等光阻粒 子的极性相反的极性的电荷之电压源。图式简单 说明: 第一图为一示意图,其展示出依据本发明之一光阻 涂覆装置。 |
