| 发明名称 |
SUBSTRATE WITH NOBLE METALLIC COLLOID DISPERSED LAYER AND PATTERN FORMING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11271981(A) |
申请公布日期 |
1999.10.08 |
| 申请号 |
JP19980092602 |
申请日期 |
1998.03.20 |
| 申请人 |
SHIN ETSU CHEM CO LTD |
发明人 |
FUKUSHIMA MOTOO;MORI SHIGERU |
| 分类号 |
H01L51/05;C09D183/05;C09D183/16;G03F7/075;G03F7/11;G03F7/40;H01B1/00;H01B5/14;H01B13/00;H01L51/00;H01L51/30;H01L51/40;(IPC1-7):G03F7/11 |
主分类号 |
H01L51/05 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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