发明名称 DIFFERENTIAL INTERFERENCE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH11271630(A) 申请公布日期 1999.10.08
申请号 JP19980077805 申请日期 1998.03.25
申请人 NIKON CORP 发明人 IWASAKI YUTAKA
分类号 G01B9/04;G01B11/00;G01N21/27;G02B21/00;G02B21/06;G02B21/36;(IPC1-7):G02B21/00 主分类号 G01B9/04
代理机构 代理人
主权项
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