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发明名称
ETCHING METHOD
摘要
申请公布号
JPH11274147(A)
申请公布日期
1999.10.08
申请号
JP19990027834
申请日期
1999.02.04
申请人
SEZ SEMICONDUCTOR EQUIP ZUBEHOER FUER DIE HALBLEITERFERTIGUNG GMBH
发明人
SUMNITSCH FRANZ;WAGNER GERALD
分类号
H01L21/308;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/308
主分类号
H01L21/308
代理机构
代理人
主权项
地址
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