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发明名称 PROCESSING METHOD FOR SAMPLE IN FIB-SEM DEVICE AND FIB-SEM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11273613(A) 申请公布日期 1999.10.08
申请号 JP19980073793 申请日期 1998.03.23
申请人 JEOL LTD 发明人 SAKATA TAKAHIDE
分类号 H01J37/28;H01J37/304;H01J37/305;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/304;H01L21/306 主分类号 H01J37/28
代理机构 代理人
主权项
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