ULTRAHIGH VACUUM CHARGED PARTICLE DEVICE AND METHOD FOR ADJUSTING THE SAME,申请号JP19980098279-传众专利搜索

发明名称	ULTRAHIGH VACUUM CHARGED PARTICLE DEVICE AND METHOD FOR ADJUSTING THE SAME
摘要
申请公布号	JPH11273604(A)	申请公布日期	1999.10.08
申请号	JP19980098279	申请日期	1998.03.26
申请人	JEOL LTD	发明人	KATAOKA YOSHINORI
分类号	H01J37/18;F16J15/06;F16J15/08;H01J37/26;(IPC1-7):H01J37/18	主分类号	H01J37/18
代理机构		代理人
主权项
地址