| 发明名称 |
PATTERN DRAWING METHOD AND DRAWING APPARATUS THEREOF |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11274038(A) |
申请公布日期 |
1999.10.08 |
| 申请号 |
JP19980074410 |
申请日期 |
1998.03.23 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
SAKURAI HIDEAKI;ITO MASAMITSU |
| 分类号 |
H01L21/027;G03F7/20;G03F7/22;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
