发明名称 HIGH VOLTAGE TESTING DEVICE AND METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH11271387(A) 申请公布日期 1999.10.08
申请号 JP19980074586 申请日期 1998.03.23
申请人 SANKEN ELECTRIC CO LTD 发明人 YOKOYAMA TAKAAKI;TAWARAGUCHI AKIRA
分类号 G01R31/26;G01R31/12;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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