SCANNING ELECTRON MICROSCOPE,申请号JP19980076968-传众专利搜索

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发明名称	SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号	JPH11273606(A)	申请公布日期	1999.10.08
申请号	JP19980076968	申请日期	1998.03.25
申请人	HITACHI LTD	发明人	SHIMIZU MINORU
分类号	H01J37/22;H01L21/66;(IPC1-7):H01J37/22	主分类号	H01J37/22
代理机构		代理人
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