发明名称 MANUFACTURING CLAD SOI SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH11274292(A) 申请公布日期 1999.10.08
申请号 JP19980078034 申请日期 1998.03.25
申请人 SONY CORP 发明人 KOMATSU YUJI
分类号 H01L21/762;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/76;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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