MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUIT,申请号JP19980076216-传众专利搜索

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发明名称	MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号	JPH11274120(A)	申请公布日期	1999.10.08
申请号	JP19980076216	申请日期	1998.03.24
申请人	NEC CORP	发明人	NUMATA HIDEAKI
分类号	H01L21/3205;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304;H01L21/320	主分类号	H01L21/3205
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