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发明名称 CANTILEVER DISPLACEMENT DETECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11271341(A) 申请公布日期 1999.10.08
申请号 JP19980073921 申请日期 1998.03.23
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 ONO OSAMU
分类号 G01B11/00;G01N37/00;G01Q20/02;G01Q60/24;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
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