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发明名称
EVACUATING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH11273558(A)
申请公布日期
1999.10.08
申请号
JP19980075487
申请日期
1998.03.24
申请人
SHIMADZU CORP
发明人
HANAMI HIDENORI
分类号
H01J9/38;H01J9/02;(IPC1-7):H01J9/02
主分类号
H01J9/38
代理机构
代理人
主权项
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