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发明名称
MANUFACTURE OF HETEROJUNCTION FIELD EFFECT TRANSISTOR AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH11274475(A)
申请公布日期
1999.10.08
申请号
JP19980070556
申请日期
1998.03.19
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
ASHIZAWA YASUO
分类号
H01L29/812;H01L21/338;H01L29/417;H01L29/778;(IPC1-7):H01L29/778
主分类号
H01L29/812
代理机构
代理人
主权项
地址
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