发明名称 BORON THIN-FILM STANDARD SAMPLE
摘要
申请公布号 JPH11271188(A) 申请公布日期 1999.10.05
申请号 JP19980075152 申请日期 1998.03.24
申请人 RIGAKU INDUSTRIAL CO 发明人 SHIMIZU KAZUAKI
分类号 G01N23/223;G01N1/00;(IPC1-7):G01N1/00 主分类号 G01N23/223
代理机构 代理人
主权项
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