发明名称 REPRODUCTION CONTROLLER OF CRYOPUMP
摘要
申请公布号 JPH11315783(A) 申请公布日期 1999.11.16
申请号 JP19980120578 申请日期 1998.04.30
申请人 DAIKIN IND LTD 发明人 KITA YUICHI;FUJITA MASAHIRO
分类号 F04B37/08;F04B37/16;G05D23/19;(IPC1-7):F04B37/08 主分类号 F04B37/08
代理机构 代理人
主权项
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