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发明名称 PRODUCTION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH11269652(A) 申请公布日期 1999.10.05
申请号 JP19980176197 申请日期 1998.06.23
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD 发明人 RI SOMIN;KIN EIKAN;PARK CHANG-SOO
分类号 C23C18/08;C23C16/18;C23C16/40;C23C16/44;H01L21/203;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C18/08
代理机构 代理人
主权项
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