| 发明名称 |
DETECTING METHOD FOR DEFECTIVE PART OF INSPECTION OBJECT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11271235(A) |
申请公布日期 |
1999.10.05 |
| 申请号 |
JP19980072064 |
申请日期 |
1998.03.20 |
| 申请人 |
ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD |
发明人 |
MIURA YUICHI;HIROSE NAOYA |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N21/954;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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