| 发明名称 |
PRESSURE SENSOR AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11271159(A) |
申请公布日期 |
1999.10.05 |
| 申请号 |
JP19980079113 |
申请日期 |
1998.03.26 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
UKAI SEIICHI;SHIMIZU YASUSHI |
| 分类号 |
G01L9/04;G01L9/00;G01L19/06;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/04 |
主分类号 |
G01L9/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
