Thermistor

摘要

Die Erfindung betrifft einen Thermistor aus einem Mischoxidmaterial mit negativem Temperaturkoeffizienten des spezifischen elektrischen Widerstands sowie Verfahren zu seiner Herstellung basierend auf Dünn- und/oder Dickschichttechnik und seine Verwendung. Das Mischoxidmaterial hat eine Zusammensetzung der allgemeinen Formel Ln1 - y MyA1 - x Bx O3 , wobei Ln wenigstens ein Seltenerdelement oder eine Mischung von diesen ist, M mindestens ein Element aus der Reihe der Erdalkalien, A aus Chrom oder Zirkon gebildet ist und B aus Gallium oder Indium gebildet ist. Die erfindungsgemäßen Thermistoren haben gegenüber den aus dem Stand der Technik bekannten NTC- oder PTC-Thermistoren den Vorteil, daß sie reproduzierbare Meßwerte auch bei nicht-oxidierenden Prozessen mit geringem Sauerstoffgehalt liefern, daß sie langzeitstabil sind und daß sie auch bei relativ niedrigen Temperaturen eine hohe elektrische Leitfähigkeit zeigen. Letzteres sogar wenn die erfindungsgemäßen Thermistoren in Form einer dünnen Schicht vorliegen.