| 发明名称 |
Werkwijze voor het inspecteren van een defect op een doorschijnende dunne laag. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL1008801(C2) |
申请公布日期 |
1999.10.05 |
| 申请号 |
NL19981008801 |
申请日期 |
1998.04.03 |
| 申请人 |
UNITED SEMICONDUCTOR CORPORATION |
发明人 |
ANCHOR CHEN |
| 分类号 |
G01N21/95;G01N21/958;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66;G01N21/88 |
主分类号 |
G01N21/95 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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