| 发明名称 |
FABRICATION OF NOZZLE PLATE AND METHOD FOR MACHINING SILICON SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11268283(A) |
申请公布日期 |
1999.10.05 |
| 申请号 |
JP19980071030 |
申请日期 |
1998.03.19 |
| 申请人 |
SEIKO EPSON CORP |
发明人 |
KARASAWA YASUSHI;ATOBE MITSUAKI |
| 分类号 |
B41J2/135;B41J2/16;H01L21/3063;(IPC1-7):B41J2/135;H01L21/306 |
主分类号 |
B41J2/135 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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