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发明名称
摘要
申请公布号 JP2956191(B2) 申请公布日期 1999.10.04
申请号 JP19900273868 申请日期 1990.10.12
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 SUZUKI MASAO
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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