发明名称
摘要
申请公布号 JP2955305(B2) 申请公布日期 1999.10.04
申请号 JP19890273695 申请日期 1989.10.23
申请人 TOSHIBA KK 发明人 WADA TETSUNORI
分类号 H01L21/66;H01L29/00;(IPC1-7):H01L29/00 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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