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发明名称
摘要
申请公布号 JP2956597(B2) 申请公布日期 1999.10.04
申请号 JP19960201988 申请日期 1996.07.31
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 TSURUTA HIROKI
分类号 H01L21/66;G01R31/311;H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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