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发明名称
摘要
申请公布号 JP2955286(B1) 申请公布日期 1999.10.04
申请号 JP19980279735 申请日期 1998.10.01
申请人 EI TEI AARU KANKYO TEKIO TSUSHIN KENKYUSHO KK 发明人 PABURO BATSUKARO;DOMOTO CHIAKI;EGAMI NORIFUMI
分类号 H01L31/10;(IPC1-7):H01L31/10 主分类号 H01L31/10
代理机构 代理人
主权项
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