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发明名称
摘要
申请公布号	JP2956282(B2)	申请公布日期	1999.10.04
申请号	JP19910163518	申请日期	1991.06.07
申请人	DENSOO KK	发明人	TSUJI HIDEHIKO
分类号	B05C3/09;B01J19/00;H01L51/00;H01L51/05;H01L51/40;(IPC1-7):B05C3/09	主分类号	B05C3/09
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