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发明名称 CONTACT OPEN TESTING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100217327(B1) 申请公布日期 1999.10.01
申请号 KR19960031389 申请日期 1996.07.30
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 LEE, SANG-KIL;LEE, BYUNG-AM;YANG, KYUNG-MO
分类号 G01N1/32;G01Q30/02;G01Q30/06;G01R31/307;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01N1/32
代理机构 代理人
主权项
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