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发明名称 METHOD FOR FORMING TUNGSTEN PLUG
摘要
申请公布号 KR100222125(B1) 申请公布日期 1999.10.01
申请号 KR19950004456 申请日期 1995.03.04
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 CHO, KYONG-SOO
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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