发明名称 IMPROVED POLISHING COMPOSITIONS
摘要
申请公布号 KR100222768(B1) 申请公布日期 1999.10.01
申请号 KR19950075240 申请日期 1995.11.24
申请人 RODEL INC. 发明人 BRANCALEONI, GREGORY;COOK, LEE MELBOURNE
分类号 C23F1/00;H01L21/306;(IPC1-7):C23F1/00 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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