发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'UN POINT MEMOIRE EN TECHNOLOGIE BICMOS
摘要 <P>L'invention concerne un procédé de fabrication d'un transistor MOS, comprenant les étapes consistant à délimiter au moyen d'un premier masque de résine des zones d'implantation de drain (24) et de source (25) de type N; éliminer le premier masque et faire diffuser le dopant implanté; recuire, d'où il résulte qu'il se forme un oxyde plus épais (28, 29) au-dessus des régions de source et de drain qu'au-dessus de la partie centrale d'isolement de grille (27); former un doigt de silicium polycristallin au-dessus de la partie centrale d'isolement de grille (27) de façon à constituer la grille (30) du transistor MOS; et procéder à une deuxième implantation de source/drain (34, 35).</P>
申请公布号 FR2776829(A1) 申请公布日期 1999.10.01
申请号 FR19980004209 申请日期 1998.03.31
申请人 SGS THOMSON MICROELECTRONICS SA 发明人 LAURENS MICHEL
分类号 H01L21/336;H01L29/788;(IPC1-7):H01L21/331;H01L21/824 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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