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发明名称 STAGE TRANSFER APPARATUS OF SEMICONDUCTOR SYSTEM
摘要
申请公布号 KR100234540(B1) 申请公布日期 1999.10.01
申请号 KR19960070902 申请日期 1996.12.24
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 KIM, KI-HO
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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