发明名称 VORRICHTUNG ZUM EINFÜHREN VON GAS, SOWIE GERÄT UND VERFAHREN ZUM EPITAXIALEN WACHSTUM.
摘要
申请公布号 DE69229870(D1) 申请公布日期 1999.09.30
申请号 DE19926029870 申请日期 1992.09.28
申请人 KOMATSU ELECTRONIC METALS CO., LTD.;KABUSHIKI KAISHA KOMATSU SEISAKUSHO, TOKIO/TOKYO 发明人 MARUYA, SHINJI KOMATSU ELECTRONIC METALS CO. LTD.;KATO, HIROKI KOMATSU ELECTRONIC METALS CO.;HINO, KAZUHIKO KABUSHIKI KAISHA KOMATSU;KOBAYASHI, MASAKAZU KABUSHIKI KAISHA KOMATSU;OCHI, NOZOMU KABUSHIKI KAISHA KOMATSU SEISAKUSHO;HISANAGA, NAOTO KABUSHIKI KAISHA KOMATSU
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C30B25/14;(IPC1-7):C30B25/14 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
地址