| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft einen Mikrosensor mit einer Resonatorstruktur, die durch erste elektrische Signale zu Schwingungen angeregt wird, und in Abhängigkeit von der Meßgröße zweite elektrische Signale abgibt; wobei zur thermischen Anregung von Schwingungen auf der Resonatorstruktur ein Heizelement angeordnet ist, dem mindestens eines der ersten elektrischen Signale zugeführt wird. Zur thermischen Anregung von lateralen Schwingungen bei einem Mikrosensor mit einer Resonatorstruktur ist es vorgesehen, den Mikrosensor an einem Fußpunkt mindestens eines schwingenden Teils der Resonatorstruktur mit wenigstens zwei, durch eine Zone mit verminderter Wärmeleitung voneinander thermisch getrennte Bereiche zu versehen und das Heizelement auf einem der Bereiche anzuordnen. Durch diese Anordnung läßt sich die Resonatorstruktur zu lateralen Schwingungen anregen, wenn das Heizelement mit entsprechenden Stromimpulsen versorgt wird. Vorteilhaft ist es, wenn auf mindestens einem der anderen Bereiche ein Aufnahmeelement zur Detektion der Schwingungsamplitude angeordnet ist.</p> |
