| 发明名称 |
Material zur Gasphasenabscheidung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69700448(D1) |
申请公布日期 |
1999.09.30 |
| 申请号 |
DE19976000448 |
申请日期 |
1997.06.11 |
| 申请人 |
TOSOH CORP., SHINNANYO |
发明人 |
KONDO, SATOSHI;KUBOTA, YOSHITAKA |
| 分类号 |
C04B35/486;C23C14/08;C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/08;C23C14/30 |
主分类号 |
C04B35/486 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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