Einrichtung und Verfahren zur Vermessung von Objekten an ausgewälten Meßpositionen,申请号DE19971052509-传众专利搜索

发明名称	Einrichtung und Verfahren zur Vermessung von Objekten an ausgewälten Meßpositionen
摘要
申请公布号	DE19752509(C2)	申请公布日期	1999.09.30
申请号	DE19971052509	申请日期	1997.11.27
申请人	JENOPTIK AG	发明人	GRAEF, MICHAEL;BACKHAUS, KUNO;ALBRECHT, DIETER;KRATSCH, NORA;FLEMMING, GUENTER;WOLTER, DETLEF;LITZBA, FRANK;STEINER, HARALD
分类号	G01B11/00;H01L21/00;H01L21/68;(IPC1-7):G01B11/00	主分类号	G01B11/00
代理机构		代理人
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